実験の流れ紹介

 ここでは、私たちの研究室で行っている実験の一連の流れ(1.試料作製→2.観察→3.分析→4.微細加工→5.冷却+測定)とそこで使用する様々な装置について紹介します。




装置紹介

無機・有機単結晶及び薄膜作製装置 観察装置
  
 ・MX2,MX3単結晶作製電気炉
 ・
MX3-MX2変換炉
 ・有機結晶合成装置
 ・蒸着装置
  ・抵抗加熱
  ・分子線エピキタシー蒸着(MBE)
  ・スパッタ(DC,RF)
 ・光学顕微鏡
 ・走査型電子顕微鏡(SEM)
   (JEOL JSM-7000F,SE-820,JSM-5200)
 ・透過型電子顕微鏡(TEM) (JEOL JEM-2000FX)
 ・原子間力顕微鏡(AFM) (SII SPI-3700)
 ・走査トンネル電子顕微鏡(STM)
          (JEOL JSPM-5200)
微細加工装置 分析装置
 ・電子ビームリソグラフィー
 ・収束イオンビーム(FIB) (JEOLJEM-9310FIB)
 ・反応性イオンエッチング(RIE)
   ・エネルギー分散X線分光(EDS)
   ・電子線回折
   ・後方散乱電子線回折(EBSD)
冷却装置 測定システム
希釈冷凍機(Oxford, Kelvinox)
         + 超伝導マグネット(8T)
3He冷凍機(Oxford, Heliox)
         + 超伝導マグネット(6T)
3He冷凍機(自作)
4Heクライオスタット(自作)
   + 超伝導マグネット(4T),弱磁場
液体窒素クライオスタット(CDW系専用)
   ・過渡応答測定
   ・リトルパークス振動測定
   ・AB効果測定
   ・CDWシャピロステップ測定
   ・超伝導ギャップ測定
   ・微小比熱測定