実験の流れ紹介
ここでは、私たちの研究室で行っている実験の一連の流れ(1.試料作製→2.観察→3.分析→4.微細加工→5.冷却+測定)とそこで使用する様々な装置について紹介します。
装置紹介
無機・有機単結晶及び薄膜作製装置 | 観察装置 |
・MX2,MX3単結晶作製電気炉 ・MX3-MX2変換炉 ・有機結晶合成装置 ・蒸着装置 ・抵抗加熱 ・分子線エピキタシー蒸着(MBE) ・スパッタ(DC,RF) |
・光学顕微鏡 ・走査型電子顕微鏡(SEM) (JEOL JSM-7000F,SE-820,JSM-5200) ・透過型電子顕微鏡(TEM) (JEOL JEM-2000FX) ・原子間力顕微鏡(AFM) (SII SPI-3700) ・走査トンネル電子顕微鏡(STM) (JEOL JSPM-5200) |
微細加工装置 | 分析装置 |
・電子ビームリソグラフィー ・収束イオンビーム(FIB) (JEOLJEM-9310FIB) ・反応性イオンエッチング(RIE) |
・エネルギー分散X線分光(EDS) ・電子線回折 ・後方散乱電子線回折(EBSD) |
冷却装置 | 測定システム |
・希釈冷凍機(Oxford, Kelvinox) + 超伝導マグネット(8T) ・3He冷凍機(Oxford, Heliox) + 超伝導マグネット(6T) ・3He冷凍機(自作) ・4Heクライオスタット(自作) + 超伝導マグネット(4T),弱磁場 ・液体窒素クライオスタット(CDW系専用) |
・過渡応答測定 ・リトルパークス振動測定 ・AB効果測定 ・CDWシャピロステップ測定 ・超伝導ギャップ測定 ・微小比熱測定 |