蒸着装置(抵抗加熱法）

金属などの蒸着源に数十Aの高電流を流し、真空中で蒸発・気化させることにより、
基板上に様々な物質の薄膜を張ることができます。
内部に設置された水晶振動子で膜厚をコントロールできます。

真空ポンプには、油拡散ポンプ、スパッタイオンポンプ等使用しています。