分子線エピキタシー蒸着装置(Molecular Beam Epitaxy:MBE)
金属や酸化物などに電子ビームを照射し蒸発させ、薄膜を張る装置です。 また、真空度がとても高く、10-8Torrのオーダーまで到達可能なポンプを搭載しています。