エネルギー分散型X線分光(EDS)

エネルギー分散型Ｘ線分光（ＥＤＳ）は原子の分布を『調べる』手法です。電子の照射された部分からは二次電子も出ますが、「特性Ｘ線」と呼ばれる、原子によって波長の異なるＸ線も出てきます。ＳＥＭの検出器とは別の検出器でこのＸ線を取り出して分析をすると、どこに何の原子がたくさん分布しているかという情報がＳＥＭと同じ程度の分解能で得られます。