スパッタリング装置

高エネルギーの粒子を固体の表面に当てると、その固体の表面にある原子や分子がその粒子と運動量を交換し、表面から飛び出します（スパッタリング現象）。
　
これを用いて固体の原子や分子を基板上に張ることができる装置です。

・DCスパッタリング装置

・RFスパッタリング装置