後方散乱電子回折(EBSD)

後方散乱電子回折(EBSD)は結晶格子の向きの分布を『調べる』方法です。電子の波としての性質を使うこの方法ではまず、電子ビームを厚い試料に入射した時に出る「菊池パターン」と呼ばれる反射電子の干渉パターンを取得します。結晶の構造と、得られたパターンを照らし合わせて、各照射位置で結晶の軸がどこを向いているのかという情報を地図にして表示してくれます。