収束イオンビーム(Focused Ion Beam：FIB)装置

FIB装置は収束させたGaイオンのビームをあてることで試料の加工ができる装置です。
μｍ〜ｎｍの加工が可能なので、結晶に穴を開けたり、切断するのに使っています。