・電子ビームリソグラフィ

電子ビームリソグラフィ『描く』手法です。電子の照射によって変質し現像液に溶けやすくなるような「レジスト」を、絵を描きたい基板に塗布して固めます。電子顕微鏡で、ビームを書きたい絵の通りになぞらせるとなぞられた部分は溶けやすくなるので除去できます。インク代わりの金属を基板に薄く積もらせた後で、レジストをすべて溶かしてやると、はじめに絵を描いた部分だけ金属が残り、目的の絵が描けるというわけです